中科院微电子所 DIW/IWW 工程

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微电子所是国内微电子领域学科方向布局完整的综合研究与开发机构，是中国科学院EDA中心、中国科学院物联网研究发展中心的依托单位，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。在我国微电子领域拥有广泛的影响，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。

　　中科院微电子所IMECAS超纯水及废水系统
　　中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。
　　微电子所是国内微电子领域学科方向布局完整的综合研究与开发机构，是中国科学院EDA中心、中国科学院物联网研究发展中心的依托单位，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位，是中国科学院大学微电子学院(国家示范性微电子学院)的依托单位，是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。在我国微电子领域拥有广泛的影响，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。

　　1、处理规模：
　　720m³/d

　　2、主体工艺：
　　1. 纯水工艺：预处理系统+超滤系统+反渗透系统+EDI系统+混床系统+终端超滤系统
　　2. 回收工艺：将一期纯水一级RO浓水经过一套反渗透处理，然后产水回到一期纯水系统的预处理水箱，实现回收利用
　　锰砂过滤器+活性炭过滤器+一级RO系统+产水