绍兴中芯集成电路制造股份有限公司

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该项目计划投资16.8亿人民币，新建电子信息类生产厂房和配套建筑，建筑面积227537平方米，包括生产厂房、甲类库、动力厂房等。超纯水系统（所有设备及管路系统、控制系统）工程包含设备及材料采购，运输，安装，检测，设备调试，系统调试、联动调试直至水质指标达到技术要求，员工操作培训，二年备品备件，专用工具，调试期间所有化学品、易损件及耗材，相关售后服务。

　　绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
　　绍兴中芯集成电路制造股份有限公司(中芯集成，SMEC)注册资本50.76亿元人民币，总部位于浙江绍兴，是一家专注于功率、传感和传输应用领域，提供模拟芯片及模块封装的代工服务的制造商。公司以晶圆代工为起点，向下延伸到模组封装，为国内外客户提供一站式代工解决方案，为功率、传感和传输等领域的半导体产品公司提供完整生产制造平台，支持客户研发以及大规模量产。中芯集成的业务面向全球，除了浙江绍兴总部，公司在中国上海,日本东京、欧洲瑞士都设有销售和市场办公室。中芯集成与众多国内外客户建立广泛战略合作，在支持客户规模量产的基础上持续合作开发技术优质的产品。

　　中芯绍兴电子信息配套产业园超纯水系统工程
　　该项目计划投资16.8亿人民币，新建电子信息类生产厂房和配套建筑，建筑面积227537平方米，包括生产厂房、甲类库、动力厂房等。超纯水系统(所有设备及管路系统、控制系统)工程包含设备及材料采购，运输，安装，检测，设备调试，系统调试、联动调试直至水质指标达到技术要求，员工操作培训，二年备品备件，专用工具，调试期间所有化学品、易损件及耗材，相关售后服务。

　　一、设计流量：
　　1. DIW消耗量：60 m³/h
　　2. ROW消耗量：60 m³/h
　　3. UPW消耗量：280 m³/h
　　4. LSW消耗量：80 m³/h

　　二、主体工艺：
　　1. 预处理系统：HEX-1+MMF 470 m³/h
　　2. 2B3T处理系统：ACF+SC+DG+WA/SA 464 m³/h
　　3. RO处理系统：UV+Pre Filter+RO 381 m³/h
　　4. MB处理系统：TOC UV-1+MB+Post Filter+MDG-1 320 m³/h
　　5. 抛光处理系统：HEX-2+TOC UV-2+Plish+MDG+UF 280 m³/h
　　6. LSR系统：HEX-1+MMF+ACF+SC+WA/SA+UV+Pre Filter 80 m³/h
　　7. 回收水系统：收集桶槽+判定系统+提升系统