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2021
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中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 FAB4
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中芯国际集成电路制造(天津)有限公司位于天津西青开发区,是一个以8英寸晶元为主的芯片加工厂。其生产产生的废水主要有酸碱废水、含氟废水、含氨废水和冲洗芯片产生的DCMP废水。
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 FAB7
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司位于天津西青开发区,是一个以8英寸晶元为主的芯片加工厂。其生产产生的废水主要有酸碱废水、含氟废水、含氨废水和冲洗芯片产生的DCMP废水。
1、含氟废水:
根据反应原理Ca2++F—→CaF2,采用投药、絮凝沉淀分离的方法进行处理,处理后最终排放达到国家标准(F<10ppm),其处理能力15m3/h。
2、含氨废水:
采取加热、吹脱、吸收的方法去除氨水中的NH3,经过处理后系统中氨的含量≤50ppm,处理合格的废水排放至除氟系统中去除水中含有的少量氟离子最后进中和反应池进行稀释并最终排放,系统处理能力为5m3/h。
3、DCMP废水:
在DCMP废水的处理中主要是采用UF过滤的方法去除水中所含的微粒,处理能力为5m3/h,处理后的水浊度<0.2NTU。
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