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高频环境助力山东有研首根集成电路八英寸直拉硅单晶拉制成功!
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高频环境助力山东有研首根集成电路八英寸直拉硅单晶拉制成功!

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高频环境助力山东有研首根集成电路八英寸直拉硅单晶拉制成功!

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9月1日,山东有研半导体材料有限公司(山东有研)正式宣布在其“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”直拉硅单晶生产车间里,首根集成电路用八英寸直拉硅单晶拉制成功,这是山东省集成电路产业的一项关键性突破,也标志着这个在省重点项目名单中位列第一的新旧动能转换重大项目取得重要进展,即将进入量产阶段。

高频美特利环境科技(北京)有限公司作为北京有研超纯水系统的长期服务商,2019年7月参与和承接了本项目超纯水系统的设计与建造。

高频环境采用成熟可靠、全自动的预处理+DPRO+EDI+精处理的超纯水技术水处理工艺,在关键数据满足全部超纯水工艺技术指标的基础上,该工艺同时具有水利用率高,运行稳定和方便运维管理等特点。该项目在高频环境和业主技术团队的共同努力下,全部采用BIM软件工具设计,加快了整体项目进度,解决了施工建设过程中的空间管理问题。高频环境的项目团队克服了疫情的干扰,密切配合,精心施工,在工期和品质方面全面满足了用户的要求,得到了使用方的充分肯定。

    

今年以来,高频环境在做好全面防疫工作的同时,克服重重困难与压力,保质保量保时完成建设任务,体现了我们对于客户一贯的承诺。未来,我们也将继续秉持初心,以打造优质工程为目标,为包括山东有研在内的客户提供更优质和更专业的技术服务,实现我们“用技术和服务创造客户价值的使命”。

 

【项目背景】

有研半导体材料有限公司是有研集团旗下的核心企业,分别于1992年、1995年、1997年、2002年制成国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅单晶,在国内率先实现了8英寸硅片的规模化生产。

山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目承接北京高新技术产业转移,一期项目总投资18亿元,于2019年3月动工,建设包括年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片、300吨12英寸-18英寸大直径硅单晶生产线,目前项目正进行收尾工作,部分工艺设备将进入试运行阶段;二期12英寸集成电路用大硅片项目也在积极筹备,计划明年开工建设。

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