山东有研半导体材料有限公司纯水系统工程

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本项目需满足山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目所需纯水系统。集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目拟占地330亩，当期建筑面积约10万平方米（总平面布置考虑另外预留约10万平方米建筑面积），建设8英寸硅抛光片生产线及大直径硅单晶生产线，搬迁北京现有6、8英寸硅抛光片生产线和大直径硅单晶生产线，项目建成后，实现生产6、8英寸硅片38万片/月的能力及生产大直径硅单晶25吨/月。

　　山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目纯水系统
　　有研半导体材料有限公司(以下简称“有研半导体”)成立于2001年6月。有研半导体是高新技术企业，位于北京市高新技术产业云集的中关村科技园区，拥有整套具有自主知识产权的核心技术和符合国际标准的先进厂房设备。公司目前主要从事硅材料的研究、开发、生产与经营，提供相关技术开发、技术转让和技术咨询服务。主要产品包括集成电路用5-12英寸硅单晶及硅片、功率集成电路用5-8英寸硅片、3-6英寸区熔硅单晶及硅片、集成电路工艺设备用超大直径硅单晶及硅部件等，产品可应用于集成电路、功率器件、太阳能等多个领域，远销美国、日本、韩国、台湾等多个地区，在国内外市场具有较高的知名度和影响力。
　　本项目需满足山东有研半导体材料有限公司集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目所需纯水系统。集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目拟占地330亩，当期建筑面积约10万平方米(总平面布置考虑另外预留约10万平方米建筑面积)，建设8英寸硅抛光片生产线及大直径硅单晶生产线，搬迁北京现有6、8英寸硅抛光片生产线和大直径硅单晶生产线，项目建成后，实现生产6、8英寸硅片38万片/月的能力及生产大直径硅单晶25吨/月的能力。

　　1.处理规模：
　　4230m³/d

　　2.主体工艺：
　　纯水工艺：预处理、双级反渗透系统、软化水处理系统、超纯水抛光系统。