经过超纯水制备系统各处理单元处理过的超纯水，通过供回水管道输送至半导体洁净车间各区域工艺设备附近。根据工艺设备用水量大小，在工艺设备附近预留相应尺寸的阀门，在与工艺设备连接前，供回水阀门通过管道连接起来，避免死水。当机台不用水时，超纯水通过回水管道回到纯水箱，超纯水在管道内24小时不间断的循环。
为保证管道内压力恒定且满足工艺设备用水需求，当工艺设备用水量变化时，通过增压泵的变频调节和回水管道处的比例调节阀开度调节来保证管道内压力恒定。供水流量通常大于用水量的20%~50%，确保回水管道在工艺设备大量用水时，回水管道不会因为管道内水流速过低导致生菌。
配送系统的管道必须极高的稳定性，几乎没有任何有机物、离子等杂质的析出，确保超纯水不被污染的供应至机台端。
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