尾气处理设备(Local Scrubber)

尾气处理设备（Local Scrubber）业务，由高频（北京）科技股份有限公司全资子公司—合肥钛米半导体有限公司自我研发、生产、销售、服务，合肥钛米专业从事废气治理工程，集研发设计、制造服务为一体。公司拥有成熟的半导体废气治理核心技术，团队核心人员有十五年以上半导体废气治理经验，立足于空气污领域，深入扎根于电子芯片、面板、光伏等行业。

产品服务

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产品及服务优势

● 干式吸附材料为国产化制造，落地合肥，是国内少数吸附材料生产基地，交期短，可按需定制。产能达10吨/月；

● 设备制造工厂同期落地合肥，并建立研发中心，各型号设备均可定制；

● 团队人员完整，装机、维修、保养、电控、绘图工程师皆有配置，工程师经验丰富,曾服务国内一、二线半导体/芯片厂；

● 装机超过一定台数，可派驻点工程师，提供维护保养。

尾气处理设备

设备名称	设备型号
干式吸附单桶型	TMDRY-50S~500S
干式吸附双桶型	TMDRY-50D~500D
电加热水洗式	TMTW-600~3000
等离子水洗式	TMPW-600~3000
水洗式	TMWET-600~3000